Газоанализаторы на основе закрытого источника ионов CIS100, CIS200, CIS300

Системы CIS с пределом обнаружения менее 1 ppm, прямым отбором проб при давлении мТорр и удобным программным пакетом для ОС Windows удовлетворят ваши самые требовательные приложения. Онлайн мониторинг и управление технологическим процессом, проверка чистоты технологического газа на месте использования, анализ остаточных газов в высоком вакууме и проверка герметичности технологического оборудования - вот лишь некоторые из областей, в которых эти системы окажутся незаменимыми.

Зонд состоит из квадрупольного масс-спектрометра с ионизатором CIS, установленного внутри тройника Conflat® 2,75". Блок управления монтируется непосредственно на входном фланце зонда и содержит всю необходимую электронику для управления прибором. Боковой ниппель CIS обеспечивает соединение для системы дифференциальной накачки, которая удерживает квадруполь, нить накачки и детектор при высоком вакууме. Система может быть подключена непосредственно к технологической камере через стандартный монтажный фланец CIS (2.75" CF). Устройство является самоцентрирующимся, имеет простую, прочную конструкцию. Вы можете очистить и собрать зонд, а также заменить нить накала и электронный умножитель в полевых условиях.

Весь ионизатор изготовлен из позолоченной нержавеющей стали. Это уменьшает газовыделение и фоновые сигналы в области ионизации, улучшает долгосрочную стабильность и позволяет работать при воздействии реактивных и агрессивных газов. Используемая вольфрамовая нить, стойкая к коррозийным и реактивным газам, таким как WF6 и силан, способствует увеличению срока службы. Закрытая (газонепроницаемая) конструкция ионизатора предотвращает обратное попадание в объем ионизации обычно мешающих видов.

Анализаторы серии CIS поставляются в стандартной комплектации как с детектором чашек Фарадея (предел детектирования 10 ppm), так и с непрерывным динодным электронным умножителем (предел детектирования 1 ppm). Программное обеспечение позволяет легко переключаться между детекторами.

Системы CIS могут также использоваться в так называемом "RGA-режиме". В этом режиме прибор имеет более низкое минимальное детектируемое парциальное давление, но и более низкое максимальное рабочее давление. Режим RGA используется, например, на первой стадии процесса распыления, когда камера откачивается до низкого давления, а качество вакуума проверяется на герметичность и наличие вредных примесей. Затем прибор может быть переключен в режим CIS для отбора проб непосредственно при более высоком давлении.

Стандартный интерфейс RS-232 поставляется вместе с полным справочником по программированию. Все параметры зонда могут контролироваться и отслеживаться, а данные могут быть получены для использования в приложениях, изготовленных по индивидуальному заказу.

Системы CIS поддерживаются программным пакетом под ОС Windows, работающим в режиме реального времени на ПК. Интуитивно понятный графический интерфейс пользователя позволяет быстро и легко выполнять измерения. Программа полностью интерактивна, предоставляя пользователю полный контроль над графическим дисплеем. Экраны могут быть разделены для двухрежимной работы, шкалы могут быть установлены в линейном или логарифмическом формате, а данные могут быть масштабированы вручную или автоматически. Данные захватываются и отображаются в режиме реального времени или запланированы для захвата в заданный интервал времени для долгосрочной регистрации данных. Программное обеспечение позволяет осуществлять полное управление головкой CIS с простой настройкой шкалы массы, калибровкой чувствительности, настройкой ионизатора и коэффициента усиления электронного умножителя. Для дальнейшего анализа файлы данных могут быть сохранены в формате ASCII для удобного переноса в электронные таблицы. Графические изображения могут быть сохранены в виде файлов META или скопированы в буфер обмена для импорта в другие программы Windows. Программное обеспечение также обеспечивает защиту паролем для блокировки параметров , чтобы случайные пользователи не могли изменять важные настройки. С помощью программного обеспечения можно контролировать до восьми CIS.

Дополнительный автономный монитор (PPM100) может использоваться для управления RGA без хост-компьютера.

Приборы CIS требуют подключения к насосной системе с эффективной скоростью перекачки не менее 40 л/с и базовым давлением менее 10-9 Торр. Порт подключения представляет собой 2,75-дюймовый фланец Conflat®. Опция O100TDP обеспечивает турбонасос, который устанавливается непосредственно на головку CIS вместе с мембранным червячным насосом. Когда эта опция заказывается, весь анализатор собирается, тестируется и калибруется на заводе-изготовителе. Пользователи могут предоставить собственную насосную станцию, однако, пользователь несет ответственность за то, чтобы насосная система не повредила и не ограничила производительность прибора.

Системы SRS CIS предлагают самые современные эксплуатационные характеристики за меньшую стоимость по сравнению с конкурирующими моделями. Стандартные системы включают в себя детектор чашка Фарадея, детектор электронного умножителя и программное обеспечение под ОС Windows. Опции включают в себя встроенный модуль питания для работы в линии переменного тока, а также комплект, включающий турбомолекулярный и мембранный насосы.