Система мониторинга вакуумных процессов серия PPR
- Давление на входе 0,01, 0,1, 1,0 или 10 Торр.
- Скорость потока 3 × 10-5 Торр-л/с
- 2-х секундное время отклика (0,1 Торр)
- Системы 100, 200 или 300 а.е.м.
- Динамический диапазон 6 порядков
- Программное обеспечение под ОС Windows
Система мониторинга PPR предназначена для поточного мониторинга и диагностики технологических процессов. К анализатору остаточных газов (RGA) предусмотрены два пути: путь высокой проводимости для контроля базового вакуума и путь снижения давления для контроля процесса при рабочем давлении. Путь снижения давления содержит микроотверстие, которое предназначено для работы при одном из следующих давлений: 0,01, 0,1, 1 или 10 Торр. Он снижает давление образца до рабочего давления RGA (около 10-6 Торр). Это падение давления поддерживается насосной системой, которая состоит из гибридного турбомолекулярного насоса и мембранного насоса. Оба насоса не содержат масла и не загрязняют технологический процесс.
Входной узел, который крепится к Вашей технологической камере, может быть сконфигурирован несколькими способами. Система включает в себя RGA, узел перепускного клапана и тройник, контроллер, турбонасос, мембранный насос, а также программное обеспечение под ОС Windows для сбора данных и управления.
Программное обеспечение используется для работы прибора в различных режимах, аналоговый и гистограмматический режимы сканирования и графики давления от времени. Как чашка Фарадея, так и электронный умножитель являются стандартными для системы PPR. Электронный умножитель обеспечивает дополнительную чувствительность и более высокую скорость сканирования. Система PPR поставляется полностью собранной и откалиброванной, и готова к подключению к Вашей вакуумной технологической камере.
Опция | Описание | Цена |
---|---|---|
O100HJRW | Нагревательный кожух (not for use with O100MAX) | 145 435,71₽ |
O100REA | Сетевой адаптер | 72 385,81₽ |
PPM100 | Отдельный монитор для газоанализаторов RGA | 437 635,31₽ |
O100RF | Запасная нить накала для газоанализаторов RGA | 36 524,95₽ |
O100RI | Запасной набор ионизации (включает нить накала) для газоанализаторов RGA | 73 049,90₽ |
O100EM | Запасной электронный умножитель | 160 709,78₽ |
O100RO | Replacement orifice for O100BV (0.01, 0.1, 1 or 10 Torr) | 14 609,98₽ |
O100DPR | Diaphragm pump factory rebuild | 116 879,84₽ |
O100DPRK | Rebuild kit for diaphragm pump | 80 354,89₽ |
Техническое описание | Скачать |