Система мониторинга технологических газов серия UGAPM

Системы мониторинга технологических газов серии UGAPM - это современные масс-спектрометры, предназначенные для анализа технологических газов. Они работают в диапазоне от 20 Торр до 1 мТорр. На входе непрерывно отбираются пробы газов с низкой скоростью потока (около 5x10-5 мбар л/с), что делает прибор идеальным для анализа в режиме реального времени.

Приложения UGAPM включают в себя CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD, вакуумное покрытие/ плазменное травление, испарение, осаждение брызг, вакуумную термообработку, целевое горение, обнаружение утечек/ виртуальную утечку/ десорбцию, исследование загрязнений, анализ малых объемов (в диапазоне 0,1 мл) и т.п.

Эти анализаторы просты в эксплуатации и обслуживании. Управление всеми компонентами может осуществляться с передней панели или с удаленного компьютера. В системах UGAPM капилляр из нержавеющей стали с наружным диаметром 1/16 дюйма или 1/8 дюйма используется для отбора проб в среднем вакууме. При такой конфигурации между технологической камерой и анализатором практически нет мертвого объема.

Система UGAPM использует одноступенчатый капилляр, снижающий давление на входе для отбора проб газов с давлением от 1 мТорр до 20 Торр. После снижения давления примерно до 10-6 Торр газовый поток направляется в масс-спектрометр (анализатор остаточных газов - RGA), который измеряет концентрацию каждой интересующей массы.

Программное обеспечение UGAPM Windows предоставляет графический пользовательский интерфейс для построения графиков и анализа данных. Программное обеспечение также позволяет дистанционно управлять клапанами, нагревателями и насосами системы.

В качестве опции доступен клапан с несколькими входами и двумя возможными конфигурациями. Одна из них - многоканальная конфигурация, которая может применяться для одного конкретного давления пробы в различных местах. Другая - многоканальная конфигурация, которая может применяться для различных диапазонов давления пробы.

Система UGAPM может управляться с передней панели или с компьютера. На выбор предоставляется ручное или автоматическое управление всеми компонентами системы.

Данные измеряются и отображаются с помощью программного обеспечения UGAPM. Интуитивно понятный пользовательский интерфейс позволяет быстро и легко проводить измерения. Данные собираются и отображаются в режиме реального времени или планируются к получению в заданное время.

Функции включают в себя аналоговые и гистограммные режимы сканирования, графики зависимости давления от времени, обнаружение утечек, библиотеку газов и онлайн-помощь.

Параметрами RGA также можно управлять и контролировать с помощью высокоуровневого набора команд ASCII. Стандартные интерфейсы RS-232 и Ethernet используются в качестве канала передачи данных на ПК.

Анализаторы серии UGAPM предлагают наилучшее соотношение цены и качества в настоящее время. Они обеспечивают более высокую производительность, лучшие характеристики и по цене значительно ниже, чем у конкурентов.